Ion milling device

WO2014208307 Art A1 31. Dezember 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014208307
Aktenzeichen: EP14818437
Anmeldetag: 5. Juni 2014
Veröffentlichung: 31. Dezember 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01N1/28G01N1/32H01J37/20H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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