Polarization measurements of metrology targets and corresponding target designs

WO2014210381 Art A1 31. Dezember 2014

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014210381
Aktenzeichen: EP14818744
Anmeldetag: 26. Juni 2014
Veröffentlichung: 31. Dezember 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00G01B11/24G01N21/88H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: KLA-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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