Vorrichtung zum Bestimmen des Massenflusses eines in einem Trägergas Transportierten Dampfs

WO2015000727 Art A1 8. Januar 2015

Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015000727
Aktenzeichen: EP14734428
Anmeldetag: 23. Juni 2014
Veröffentlichung: 8. Januar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01F1/74

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Aixtron SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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