Precision polishing method and polishing machine

WO2015001939 Art A1 8. Januar 2015

Anmelder: Mishima Kosan Co. Ltd., Kyushu Institute of Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015001939
Aktenzeichen
EP14819887
Anmeldetag
12. Juni 2014
Veröffentlichung
8. Januar 2015
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/24B24B37/00H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Mishima Kosan Co. Ltd.
Kyushu Institute of Technology
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kyushu Institute of Technology

Das Kyushu Institute of Technology ist eine japanische staatliche Technische Universität mit Standorten in Kitakyushu und Iizuka. Das Patentportfolio verteilt sich über Halbleiterbauelemente, Mess- und Prüftechnik sowie Software und Medizintechnik. Die Anmeldungen aus den Jahren 2005 bis 2025 betreffen unter anderem Potentialdifferenzmessgeräte und Farbstoff-Peptid-Komplexe.

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