Wafer-support mounts and chemical vapor deposition device using said wafer-support mounts

WO2015001975 Art A1 8. Januar 2015

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015001975
Aktenzeichen: EP14819658
Anmeldetag: 19. Juni 2014
Veröffentlichung: 8. Januar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31C23C16/458H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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