Method for treating workpiece

WO2015001991 Art A1 8. Januar 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Central Glass Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015001991
Aktenzeichen: EP14820196
Anmeldetag: 20. Juni 2014
Veröffentlichung: 8. Januar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/302C23F1/12H01L21/28H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Central Glass Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

805 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von