Method for producing substrate having pattern thereon, and resin composition for hydrofluoric acid etching applications

WO2015002221 Art A1 8. Januar 2015

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015002221
Aktenzeichen
EP14819700
Anmeldetag
2. Juli 2014
Veröffentlichung
8. Januar 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C03C15/00C08G59/20H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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