Verfahren zur Herstellung eines Spiegelsubstrat-Rohlings aus Titan-Dotiertem Kieselglas für die Euv-Lithographie, sowie System zur Positionsbestimmung von Defekten in einem Rohling

WO2015003966 Art A1 15. Januar 2015

Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015003966
Aktenzeichen: EP14739709
Anmeldetag: 2. Juli 2014
Veröffentlichung: 15. Januar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/958B24B13/00G01N21/896

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Heraeus Quarzglas

Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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