Etching method for forming a carrier having inward flanges in particular for confining a droplet for capillary self-assembly

WO2015004096 Art A1 15. Januar 2015

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, STMicroelectronics (Crolles 2) SAS 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015004096
Aktenzeichen
EP14736793
Anmeldetag
8. Juli 2014
Veröffentlichung
15. Januar 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/98H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
STMicroelectronics (Crolles 2) SAS
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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