Electron gun and electron microscope

WO2015004981 Art A1 15. Januar 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015004981
Aktenzeichen: EP14823320
Anmeldetag: 12. Mai 2014
Veröffentlichung: 15. Januar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/073H01J37/143H01J37/145

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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