Substrate for diaphragm-type resonant mems devices, diaphragm-type resonant mems device and method for manufacturing same

WO2015005193 Art A1 15. Januar 2015

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015005193
Aktenzeichen: EP14822079
Anmeldetag: 2. Juli 2014
Veröffentlichung: 15. Januar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H03H9/17B81C1/00G01C19/56G01L9/08G01P15/09H01L29/84H01L41/113H01L41/316H04R17/00H04R17/10H03H3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation

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