Method for forming pattern and catalyst and electronic element using method therefor

WO2015005517 Art A1 15. Januar 2015

Anmelder: Seoul National University R&DB Foundation, Global Frontier Center for Multiscale Energy Systems 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015005517
Aktenzeichen
EP13889098
Anmeldetag
25. Juli 2013
Veröffentlichung
15. Januar 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Seoul National University R&DB Foundation
Global Frontier Center for Multiscale Energy Systems
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Seoul National University R&DB Foundation

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