Solid phase analysis of layers deposited by chemical vapor deposition

WO2015006217 Art A1 15. Januar 2015

Anmelder: Linde AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015006217
Aktenzeichen: EP14823502
Anmeldetag: 7. Juli 2014
Veröffentlichung: 15. Januar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01N31/22G01N35/08H01J49/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Linde AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Linde

Deutscher Industriegasekonzern mit Wurzeln in München, gegründet 1879. Entwickelt und liefert technische Gase sowie Anlagen zur Gasverarbeitung für Industrie, Medizin und Energiewirtschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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