Aperture Alignment in Scatterometry Metrology Systems

WO2015006233 Art A1 15. Januar 2015

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015006233
Aktenzeichen
EP14822662
Anmeldetag
7. Juli 2014
Veröffentlichung
15. Januar 2015
Rechtsraum
WO
IPC
G01B11/14G01J3/28H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA - Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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