Coated Cmp Retaining Ring

WO2015006742 Art A1 15. Januar 2015

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015006742
Aktenzeichen: EP14823812
Anmeldetag: 11. Juli 2014
Veröffentlichung: 15. Januar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/32H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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