Refurbishable coated cmp conditioner, method of making same and integrated system for use in chemical mechanical planarization

WO2015006745 Art A1 15. Januar 2015

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015006745
Aktenzeichen: EP14823458
Anmeldetag: 11. Juli 2014
Veröffentlichung: 15. Januar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/00B24B37/04C23C16/27

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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