Hexacoordinate silicon-containing precursors for ald/cvd silicon-containing film applications

WO2015009997 Art A1 22. Januar 2015

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015009997
Aktenzeichen: EP14826631
Anmeldetag: 18. Juli 2014
Veröffentlichung: 22. Januar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C07F7/02C07F7/07C23C16/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von