Laser system, extreme ultraviolet light generation system, and method for controlling laser device

WO2015012099 Art A1 29. Januar 2015

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015012099
Aktenzeichen: EP14828911
Anmeldetag: 8. Juli 2014
Veröffentlichung: 29. Januar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/10H01S3/13H01S3/23H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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