Projection optical unit for imaging an object field into an image field, and projection exposure apparatus comprising such a projection optical unit

WO2015014753 Art A1 5. Februar 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015014753
Aktenzeichen: EP14742550
Anmeldetag: 25. Juli 2014
Veröffentlichung: 5. Februar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G02B17/06G21K5/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von