Inline concentration meter and concentration detection method
WO2015015750
Art A1
5. Februar 2015
Anmelder: Tokushima University, Fujikin Incorporated 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015015750
- Aktenzeichen
- EP14832118
- Anmeldetag
- 18. Juli 2014
- Veröffentlichung
- 5. Februar 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/33
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tokushima University
Fujikin Incorporated - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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