Charged particle beam device and aberration measurement method in charged particle beam device

WO2015015985 Art A1 5. Februar 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015015985
Aktenzeichen: EP14831769
Anmeldetag: 1. Juli 2014
Veröffentlichung: 5. Februar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/153H01J37/09H01J37/147H01J37/244H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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