Exposure apparatus
WO2015016686
Art A1
5. Februar 2015
Anmelder: LG Chem, Ltd. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015016686
- Aktenzeichen
- EP14831786
- Anmeldetag
- 1. August 2014
- Veröffentlichung
- 5. Februar 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/027G03F1/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LG Chem, Ltd.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
LG Chem
Südkoreanisches Chemieunternehmen, das Batteriematerialien, Kunststoffe, petrochemische Produkte und pharmazeutische Wirkstoffe herstellt.
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Vertreten von
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