Apparatus, hybrid laminated body, method, and materials for temporary substrate support

WO2015017203 Art A1 5. Februar 2015

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015017203
Aktenzeichen: EP14832682
Anmeldetag: 23. Juli 2014
Veröffentlichung: 5. Februar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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