Method of producing a resist structure with undercut sidewall

WO2015018672 Art A1 12. Februar 2015

Anmelder: AMS AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015018672
Aktenzeichen: EP14744823
Anmeldetag: 25. Juli 2014
Veröffentlichung: 12. Februar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/54G03F7/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AMS AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇩🇪 ams OSRAM

ams OSRAM International GmbH ist ein deutsch-österreichischer Hersteller von Sensoren und optoelektronischen Bauteilen, entstanden aus dem Zusammenschluss von ams und Osram.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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