Method for producing substrate for holding wafer, and substrate for holding wafer

WO2015019879 Art A1 12. Februar 2015

Anmelder: Nippon Electric Glass Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015019879
Aktenzeichen: EP14834609
Anmeldetag: 25. Juli 2014
Veröffentlichung: 12. Februar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02C03B19/06H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nippon Electric Glass Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nippon Electric Glass

Nippon Electric Glass ist ein japanischer Glashersteller mit Sitz in Otsu, der Spezialglas für Displays, Glasfasern und optische Anwendungen produziert. Das Unternehmen gehört zur Nippon-Sheet-Glass-Gruppe.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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