Sputtering target and method for producing same

WO2015020029 Art A1 12. Februar 2015

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015020029
Aktenzeichen
EP14833672
Anmeldetag
5. August 2014
Veröffentlichung
12. Februar 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C04B35/453C04B35/457
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsubishi Materials Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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