Semiconductor device and manufacturing method therefor

WO2015021670 Art A1 19. Februar 2015

Anmelder: Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015021670
Aktenzeichen
EP13891556
Anmeldetag
29. August 2013
Veröffentlichung
19. Februar 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/336H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences

Chinesisches Forschungsinstitut der Chinese Academy of Sciences mit Schwerpunkt auf Mikroelektronik und Halbleitertechnologie. Patente betreffen Chipdesign und Halbleiterfertigung.

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