Method and inspection apparatus and computer program product for assessing a quality of reconstruction of a value of a parameter of interest of a structure

WO2015022239 Art A1 19. Februar 2015

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015022239
Aktenzeichen: EP14747658
Anmeldetag: 5. August 2014
Veröffentlichung: 19. Februar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von