Charged particle beam device having a function cancelling mode and a function expanding mode

WO2015022793 Art A1 19. Februar 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015022793
Aktenzeichen: EP14836802
Anmeldetag: 15. Mai 2014
Veröffentlichung: 19. Februar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/24H01J37/147H01J37/20H01J37/22H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von