Semiconductor production device and semiconductor device production method

WO2015022861 Art A1 19. Februar 2015

Anmelder: Shinkawa Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015022861
Aktenzeichen
EP14836057
Anmeldetag
30. Juli 2014
Veröffentlichung
19. Februar 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/52H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shinkawa Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shinkawa

Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.

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