An apparatus and method for diagnostics of neutral radicals in plasma

WO2015023229 Art A1 19. Februar 2015

Anmelder: Nanyang Technological University 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015023229
Aktenzeichen: EP14836597
Anmeldetag: 30. Juli 2014
Veröffentlichung: 19. Februar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/00G01N27/62

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nanyang Technological University
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Nanyang Technological University

Die Nanyang Technological University ist eine staatliche Forschungsuniversität in Singapur, die in den Bereichen Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologie international hoch angesehen ist.

1.005 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von