System and method for imaging a sample with a laser sustained plasma illumination output
WO2015023882
Art A1
19. Februar 2015
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015023882
- Aktenzeichen
- EP14836810
- Anmeldetag
- 14. August 2014
- Veröffentlichung
- 19. Februar 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B21/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.