Method for securing fiber, fiber-securing-structure body secured to fiber holding member, laser device provided with said fiber-securing-structure body, exposure device, and inspection device

WO2015025808 Art A1 26. Februar 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015025808
Aktenzeichen: EP14838688
Anmeldetag: 18. August 2014
Veröffentlichung: 26. Februar 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/067G02B6/00G03F7/20H01L21/027H01S3/00H01S3/042H01S3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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