Block-To-Block Reticle Inspection
WO2015027198
Art A1
26. Februar 2015
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015027198
- Aktenzeichen
- EP14837966
- Anmeldetag
- 22. August 2014
- Veröffentlichung
- 26. Februar 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06T7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Vertreten von
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