Fluorine-containing compound, substrate for patterning, photodegradable coupling agent, patterning method, and compound
WO2015029981
Art A1
5. März 2015
Anmelder: Kanagawa University, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015029981
- Aktenzeichen
- EP14841026
- Anmeldetag
- 26. August 2014
- Veröffentlichung
- 5. März 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C07F7/18C07D207/46G03F7/004G03F7/075
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kanagawa University
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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