Fluorine-containing compound, substrate for patterning, photodegradable coupling agent, patterning method, and compound

WO2015029981 Art A1 5. März 2015

Anmelder: Kanagawa University, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015029981
Aktenzeichen
EP14841026
Anmeldetag
26. August 2014
Veröffentlichung
5. März 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C07F7/18C07D207/46G03F7/004G03F7/075
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Kanagawa University
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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