Dicing device and dicing method
WO2015029988
Art A1
5. März 2015
Anmelder: Tokyo Seimitsu Co., Ltd., Watanabe, Junji 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015029988
- Aktenzeichen
- EP14840994
- Anmeldetag
- 26. August 2014
- Veröffentlichung
- 5. März 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/301B24B27/06B24D3/00B24D5/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
Watanabe, Junji - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Seimitsu
Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.
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