Removing Process-Variation-Related Inaccuracies From Scatterometry Measurements

WO2015031337 Art A1 5. März 2015

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015031337
Aktenzeichen
EP14840611
Anmeldetag
26. August 2014
Veröffentlichung
5. März 2015
Rechtsraum
WO
IPC
G01B11/24G01B9/02G06F17/10
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA - Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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