Method of and apparatus for measuring vacuum pressure

WO2015032442 Art A1 12. März 2015

Anmelder: Inficon GmbH 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015032442
Aktenzeichen
EP13759218
Anmeldetag
9. September 2013
Veröffentlichung
12. März 2015
Rechtsraum
WO
IPC
G01M99/00G05B23/02G01L21/00G01L9/00G01L13/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Inficon GmbH
Land
🇨🇭 Schweiz
🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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