Bonding apparatus and stack body manufacturing apparatus

WO2015033944 Art A1 12. März 2015

Anmelder: Semiconductor Energy Laboratory Co. Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015033944
Aktenzeichen
EP14842411
Anmeldetag
27. August 2014
Veröffentlichung
12. März 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02G02F1/13H01L21/683H01L51/50H05B33/02H05B33/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Semiconductor Energy Laboratory Co. Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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