Transportvorrichtung für eine Extreme Uv-Lichtquelle
WO2015034687
Art A1
12. März 2015
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015034687
- Aktenzeichen
- EP14842666
- Anmeldetag
- 21. August 2014
- Veröffentlichung
- 12. März 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Verdonk, Peter Lambert F. M
Eindhoven, Niederlande
45
Patente gesamt
10
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte