Charged particle beam device, sample observation method for charged particle beam device, and display control program for charged particle beam device

WO2015037157 Art A1 19. März 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015037157
Aktenzeichen: EP13893460
Anmeldetag: 13. September 2013
Veröffentlichung: 19. März 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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