Mask blank, transfer mask and method for producing transfer mask

WO2015037392 Art A1 19. März 2015

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015037392
Aktenzeichen: EP14843817
Anmeldetag: 15. August 2014
Veröffentlichung: 19. März 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/32C23C14/06C23F4/00G03F1/58G03F1/80H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

1.653 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von