Method and apparatus for non-contact measurement of internal quantum efficiency in light emitting diode structures

WO2015038992 Art A1 19. März 2015

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015038992
Aktenzeichen
EP14844581
Anmeldetag
13. September 2014
Veröffentlichung
19. März 2015
Rechtsraum
WO
IPC
G01R31/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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