Vorrichtung zum Bestimmen einer Optischen Eigenschaft eines Optischen Abbildungssystems

WO2015039751 Art A1 26. März 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015039751
Aktenzeichen: EP14780410
Anmeldetag: 18. September 2014
Veröffentlichung: 26. März 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von