Composition for forming underlayer film of self-assembling film including aliphatic polycyclic structure

WO2015041208 Art A1 26. März 2015

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015041208
Aktenzeichen
EP14846312
Anmeldetag
16. September 2014
Veröffentlichung
26. März 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C09D201/00B05D1/38B05D3/10B05D7/24C09D5/00C09D145/00C09D165/00G03F7/11G03F7/26H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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