Notched Magnetic Lens For Improved Sample Access in an Sem

WO2015042545 Art A1 26. März 2015

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015042545
Aktenzeichen: EP14845210
Anmeldetag: 22. September 2014
Veröffentlichung: 26. März 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/26G01N23/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA - Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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