Optische Bildgebungsvorrichtung mit Vereinfachter Herstellung

WO2015043682 Art A1 2. April 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015043682
Aktenzeichen: EP13767018
Anmeldetag: 30. September 2013
Veröffentlichung: 2. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von