Method and apparatus for a wet-chemical or electrochemical treatment

WO2015044013 Art A1 2. April 2015

Anmelder: MKS IP Association 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015044013
Aktenzeichen: EP14771836
Anmeldetag: 17. September 2014
Veröffentlichung: 2. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H05K3/00B05C3/132H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS IP Association
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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