Vacuum processing apparatus, vacuum processing method, method for manufacturing magnetoresistance effect element, and apparatus for manufacturing magnetoresistance effect element

WO2015045212 Art A1 2. April 2015

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015045212
Aktenzeichen: EP14847013
Anmeldetag: 26. Mai 2014
Veröffentlichung: 2. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/365G11B5/39H01L21/316H01L43/08H01L43/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Anelva Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

421 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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