Pellicle film, pellicle using same, exposure original plate and exposure device, and method for manufacturing semiconductor device

WO2015045414 Art A1 2. April 2015

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015045414
Aktenzeichen: EP14849178
Anmeldetag: 29. September 2014
Veröffentlichung: 2. April 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/62G03F1/24H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsui Chemicals, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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